Обзор запорного клапана и принцип работы 

 В качестве ключевого оборудования в системах управления жидкостью запорный клапан широко используется в полупроводниковой, нефтехимической, энергетической, фармацевтической, пищевой и напитковой промышленности.  Его основная функция заключается в точном отсечении или включении жидкости для удовлетворения потребностей управления в различных режимах.  Из - за различий в среде применения запорный клапан демонстрирует разнообразные характеристики в дизайне, выборе материалов и типах спецификаций. 

(i) Принцип работы 

 Задержка клапана зависит от относительного движения клапана и седла клапана для достижения разрыва жидкости.  Когда клапан вращается, клапан поднимается и опускается, вдали от седла клапана, когда клапан открывается, среда циркулирует;  Когда клапан плотно прикреплен к седлу клапана, жидкость эффективно отрезана.  Этот способ управления имеет характеристики простоты в эксплуатации и превосходной герметичности. 

 (ii) Базовая структура 

 Корпус клапана: как основной корпус клапана, соединяет трубопровод и содержит внутренние компоненты.  Конструктивная форма корпуса клапана включает в себя сквозной, угловой и т. Д. Выбор материала в соответствии с требованиями условий работы, например, при высокой температуре и высоком давлении часто используется литая сталь или кузнечная сталь, а в коррозионной среде используется нержавеющая сталь или инженерный пластик. 

 Крышка клапана: Закройте верхнюю часть корпуса клапана, защитите внутренние детали, способ соединения включает фланцевое соединение, резьбовое соединение и сварку, чтобы соответствовать различным требованиям давления и температуры. 

 Клапанный стержень: соединяет исполнительный механизм с клапанным клапаном и управляет движением клапанного клапана вращением, требуя достаточной жесткости и прочности, а также поддержания хорошей линейности и чистоты поверхности для повышения герметичности и эксплуатационной стабильности. 

 Клапан клапана: непосредственно контактирует с средой, контролирует проход жидкости.  Его формы разнообразны, такие как плоская форма, плунжерная форма, обтекаемая форма и т. Д. Для удовлетворения различных потребностей управления потоком. 

 Компоненты уплотнения: включают уплотнение седла клапана и уплотнение клапана для обеспечения герметичности клапана.  Герметичный материал можно разделить на металлическое уплотнение и неметаллическое уплотнение, первое устойчиво к высокой температуре и высокому давлению, второе обладает хорошей гибкостью и подходит для коррозионной среды.  Типичными способами уплотнения клапанного стержня являются уплотнение наполнителя и уплотнение сильфона, из которых уплотнение сильфона может обеспечить нулевую утечку, подходит для полупроводниковой и фармацевтической промышленности.

II. Применение запорных клапанов в полупроводниковой промышленности 

 (i) Применение экологических характеристик и особых требований 

 Производство полупроводников требует высокой чистоты окружающей среды, и небольшое загрязнение частицами может привести к снижению или повреждению производительности продукта.  Поэтому запорный клапан, подходящий для полупроводниковой промышленности, должен обладать сверхвысокой чистотой, а внутренняя поверхность подвергается специальной обработке, чтобы предотвратить выпадение частиц. 

 Кроме того, процесс производства полупроводников требует высокой точности управления потоком жидкости, запорный клапан должен обладать высокой точностью регулирования, чтобы обеспечить стабильность и согласованность процесса.  В то же время клапаны должны обладать характеристиками быстрого реагирования, чтобы точно контролировать прохождение жидкости при технологическом преобразовании. 

 (2) Типичный тип запорного клапана и технические параметры 

 Серия Swagelok SS - 400 

 Спецификация: диапазон номинальных проходов 1 / 8 "- 1", подходит для соединения трубопроводов при производстве полупроводников. 

 Технические параметры: скорость утечки до 10?   std cm3/s He，  Убедитесь, что среда не течет.  Максимальное рабочее давление может достигать 68,95 МПа (10000 psi) для различных систем транспортировки газов.  Время отклика переключателя короче до миллисекунды для удовлетворения потребностей эффективного производства. 

 Серия WODE VSS 

 Спецификация: охватывает 1 / 8 "- 1" калибр, обеспечивает VCR, втулки, резьбы и другие способы соединения, подходит для различных систем трубопроводов. 

 Технические параметры: скорость утечки может быть ниже 10.  11 std cm3/s He，  Обеспечить сверхвысокую герметичность.  Применимый температурный диапазон от - 40°C до 350°C, удовлетворяет различным температурным условиям.  Разработан оптимизированный коэффициент расхода (Cv значение) для повышения производительности управления потоком при обеспечении герметичности. 

 (3) Типичный сценарий применения 

 Процесс фотолитографии: в процессе фотолитографии требуется точный контроль подачи фотолитографического газа, запорный клапан используется для регулирования расхода трубопровода, чтобы обеспечить поступление фотолитографического газа в оборудование в оптимальное время для обеспечения точности и согласованности рисунка. 

 Процесс травления: в процессе травления используется коррозионный газ для обработки поверхности кремниевой пластины, запорный клапан благодаря своей высокой чистоте и коррозионной стойкости предотвращает попадание загрязняющих веществ в систему, обеспечивая при этом долгосрочную стабильную работу. 

 Процесс мокрого процесса: в процессе очистки, проявления и других звеньях, контроль потока химических реагентов имеет решающее значение.  Специальные запорные клапаны для полупроводников могут точно регулировать доставку химических веществ и обеспечивать эффективность и безопасность процесса обработки. 

 Применение запорных клапанов в полупроводниковой промышленности имеет решающее значение для удовлетворения требований высокой чистоты, точного управления потоком, высокой герметичности и быстрого реагирования.  По мере того, как процесс производства полупроводников продолжает совершенствоваться, технологические инновации запорных клапанов также продолжают продвигаться, чтобы адаптироваться к более жесткой производственной среде и повысить эффективность производства и качество продукции.